클린룸용 박형 전공 레귤레이터

P5* / P7* Series for Cleanrooms Thin electro pneumatic regulator

모델명: MEVT-P70

배선을 줄인 매니폴드형 박형 전공 레귤레이터입니다. 청정 압축 공기를 사용하며 두 가지 압력 제어 범위를 제공합니다.

특징

클린룸용 박형 전공 레귤레이터 MEVT-P70클린룸용 박형 전공 레귤레이터 MEVT-P70 2

사양

사용 유체청정 압축 공기 (JIS B 8392-1 2012: 등급 1.3.2 또는 동등 수준)
최대 사용 압력 (EVT100)200 kPa
최대 사용 압력 (EVT500)0.7 MPa
최소 사용 압력제어 압력 + 최대 제어 압력 × 0.1
압력 제어 범위 (EVT100)0~100 kPa
압력 제어 범위 (EVT500)0~0.5 MPa
전원 전압24 VDC ± 10% (리플률 1% 이하의 안정화 전원)
소비 전류0.1 A 이하
히스테리시스 (주위 온도 25 ± 3°C, 무부하, 사용 압력 EVT100: 110 kPa·EVT500: 0.55 MPa, 제어 압력 10~100%, 2차측 폐회로에 한함, 공기 분사 시 압력 변동 가능)0.4% F.S. 이하
직선성 (주위 온도 25 ± 3°C, 무부하, 사용 압력 EVT100: 110 kPa·EVT500: 0.55 MPa, 제어 압력 10~100%, 2차측 폐회로에 한함, 공기 분사 시 압력 변동 가능)±0.5% F.S. 이하
분해능 (주위 온도 25 ± 3°C, 무부하, 사용 압력 EVT100: 110 kPa·EVT500: 0.55 MPa, 제어 압력 10~100%, 2차측 폐회로에 한함, 공기 분사 시 압력 변동 가능)0.1% F.S. 이하
반복 정밀도 (주위 온도 25 ± 3°C, 무부하, 사용 압력 EVT100: 110 kPa·EVT500: 0.55 MPa, 제어 압력 10~100%, 2차측 폐회로에 한함, 공기 분사 시 압력 변동 가능)0.3% F.S. 이하
스텝 응답: 무부하 (최대 사용 압력, 변화 구간 50% F.S. → 100% F.S.·60% F.S.·40% F.S.)0.1 s 이하
주위 온도5~50°C
유체 온도5~50°C
본체 치수W14 × D75 × H75
접속 구경ø4, ø6 원터치 피팅 (선택 가능)
본체 무게80 g
특성 측정 조건전원 전압 24 ± 0.1 VDC, 실온 측정

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