Regulator for process gas
모델명: PGM
금속 다이어프램을 사용하는 프로세스 가스용 레귤레이터입니다. 단독 배관형과 집적형을 제공하며 미소 유량에서도 안정적으로 압력을 제어합니다.
| 사용 유체 | 불활성 가스 / 프로세스 가스 |
| 최고 사용 압력 (MPa) | 1.0 |
| 설정 압력 (30V, MPa) | -0.07 ~ 0.21 |
| 설정 압력 (30, MPa) | 0 ~ 0.21 |
| 설정 압력 (50, MPa) | 0 ~ 0.35 |
| 설정 압력 (60, MPa) | 0 ~ 0.42 |
| 설정 압력 (100, MPa) | 0 ~ 0.7 |
| 유체 온도 (°C) (고온 사양은 영업소 문의) | -5 ~ 40 (2H는 20 ~ 50) |
| 밸브 시트 누설량 (Pa·m³/s (He)) | 1.0×10⁻⁸ 이하 (2H는 2.0×10⁻⁸ 이하) |
| 외부 누설량 (Pa·m³/s (He)) | 2.8×10⁻¹² 이하 |
| 내압 (MPa) | 1.5 |
| 보관 주위 온도 (°C) | -5 ~ 60 |
| 접가스부 표면 처리 | 전해 연마 사양 |