Vacuum pressure control system
모델명: IAVB
하나의 밸브로 개폐, 완만한 배기 제어, 압력 제어를 수행합니다. 포핏 밸브와 O링 밀봉 구조로 완전히 닫을 수 있습니다.
| 사용 유체 | 진공 및 불활성 가스 |
| 사용 압력 (Pa (abs)) | 1.3×10⁻⁶ ~ 1×10⁵ |
| 최대 사용 차압 (MPa) | 0.1 |
| 시트 누설량 (Pa·m³/s (He)) | 1.3×10⁻¹⁰ 이하 |
| 외부 누설량 (Pa·m³/s (He)) | 1.3×10⁻¹¹ 이하 |
| 내압 | 0.3 MPa |
| 유체 온도 (°C) | 5 ~ 60 |
| 주위 온도 (°C) | 5 ~ 45 |
| 파일럿 압력 | 0.45 ~ 0.55 MPa |
| 설치 방향 | 제한 없음 |