CKD VSP Type Q Suction Mark Prevention Suction Pad
모델명: VSP-Q
VSP Q형은 PEEK·POM 패드로 흡착 자국을 남기지 않게 만든 진공 흡착패드입니다. 액정 유리·도장 공정·반도체 설비에 쓰며 지름은 ø10~ø30입니다.
| 패드 직경 | 3종 (ø10, ø20, ø30) |
| 패드 재질 | 3종 (PEEK, POM, 도전성 PEEK) |
| 홀더 형상 | 9종 (표준 5종, 소형 4종) |
| 용도 | 액정 유리, 도장 공정, 반도체 제조 설비 등 |
| 플렉시블 홀더 작동 유체 | 공기 |
| 플렉시블 홀더 사용 진공 압력 | -100~0 kPa |
| 플렉시블 홀더 사용 주위 온도 | 0~60°C (동결 없을 것) |
| 다이어프램 재질 | FKM |
| 위치 고정 밸브 | 모든 패드 직경에 대응 |