CKD EVB Electric Vacuum Valve
| 밸브 시트 누설 | 1.3×10^-10 Pa·m3/s(He) 이하 |
| 외부 누설 | 1.3×10^-11 Pa·m3/s(He) 이하 |
| 유체 온도 | 5~60 °C |
| 사용 주위 온도 | 5~50 °C (결로·동결 없을 것) |
| 작동 유체 | 진공 및 불활성 가스 |
| 사용 압력 | 1.3×10^-6 ~ 1×10^5 Pa(abs) |
| 최대 사용 차압 | 0.1 MPa |
| 내압 | 0.3 MPa |
| 모델별 사양 | EVB317: 오리피스 ø24, 접속 NW25, 컨덕턴스 13 l/s, 분해능 0.15 mm, 반복정밀도 0.10 mm, 무게 1.1 kg; EVB417: ø39, NW40, 43 l/s, 0.30 mm, 0.15 mm, 2.6 kg; EVB517: ø48, NW50, 74 l/s, 0.40 mm, 0.20 mm, 3.3 kg |
| 재질 | 몸체 A6063, 벨로우즈 SS316L, 밸브 디스크 SS316L, 로드 캡·스커트·와셔·너트 SS304, O링 FKM |