HTC Ferrofluidic Rotary Feedthrough
자성 유체가 축과 폴피스 사이 틈을 O-링처럼 막아 진공 속으로 회전을 전하는 페로플루이드 로터리 피드스루입니다. 접촉 없는 밀봉이라 마찰이 없고 플랜지형, 노즈 마운트형, 중공축형, 수랭형 스핀들이 있습니다.
| 형식 | 플랜지형, 노즈 마운트형, 무플랜지형, 너트 부시형, 중공축형, 반도체용 스핀들(수랭형 포함) |
| 사용 진공도 | 1x10⁻⁸ mbar (축 고정형), 1x10⁻⁶ mbar (그 밖의 형식) |
| 누설률 | <10⁻¹¹ ~ <10⁻¹² mbar·l/s (He) |
| 사용 온도 | 0 ~ 80 °C |
| 전달 토크 | 5 ~ 5000 kg·cm 이상 |
| 사용 가스 | 불활성 가스 |
| 재질 | 하우징 SS304, 축 SS420 |