HTC 용접형 벨로우즈

HTC Welded Bellows

얇은 판을 용접해 이은 벨로우즈 부품으로 진공 속 움직임과 신축을 받아 냅니다. 반도체 장비의 게이트 밸브, 슬릿 밸브, 피드스루, X-Y-Z 매니퓰레이터와 밸브 스템 씰에 들어갑니다.

HTC 용접형 벨로우즈HTC 용접형 벨로우즈 2

사양

용도반도체 장비, 게이트 밸브, 슬릿 밸브, 피드스루, X-Y-Z 매니퓰레이터, 밸브 스템 씰, 압력 센서, 진공 커플링