HTC Vacuum Module System
고객 요구에 맞춰 HTC가 설계하고 조립과 시험까지 마치는 맞춤형 진공 모듈입니다. 진공 챔버, 프레임, 진공 펌프, 배관, 제어 장치를 묶어 진공 배기나 기판 탈가스, 진공 속 검사에 씁니다.
| 구성 | 진공 챔버, 프레임, 진공 펌프, 진공 배관, 제어 장치 |
| 용도 | 진공 배기, 기판 탈가스, 진공 환경 검사 |
| 적용 예 | 증착·중합 장비, 유연 기판 코팅 클러스터 이송 장비, 박막 태양전지 스퍼터링 PVD, 절삭 공구 PVD 코팅, 표면 분석용 UHV 장비 |
| 제작 | 고객 사양 맞춤 설계, HTC 조립·시험 |