INFICON MAG084 Cold Cathode Gauge
MAG084는 VGC094 컨트롤러에 연결해 쓰는 수동형 냉음극 게이지 헤드입니다. 금속 밀봉 구조로 초고진공을 재고 강한 자기장과 방사선에 견뎌 핵융합 같은 특수 연구에 씁니다.
| 측정 범위 (air N₂) | 1×10⁻⁸ mbar … 5×10⁻³ mbar |
| 정확도(typical) | 지시값의 30% |
| 베이크아웃(고온케이블 사용 시) | +230°C / 사용온도: 표준케이블 +5…+80°C, 고온케이블 +5…+230°C / 기계적 건전성 +250°C |
| 방사선 저항 | 10⁷ Gy |
| 작동전압(측정챔버내) | ≤3.3 kV |
| 표시범위(air N₂, MAG084 with CP300C9 board) | 5×10⁻⁹ mbar … 1×10⁻² mbar |
| 반복성 | 지시값의 5% |
| 과압 | ≤9 bar (불활성 가스) |
| 작동전류 | ≤600 µA (CP900C9 보드) |
| 내부 체적 | DN 40 ISO-KF 약 23.9 cm³, DN 40 CF-F 약 26.1 cm³ |
| 치수 | ø50 x 높이 104 (ISO-KF), 109 (CF-F) |