INFICON IM540 Vacuum Gauge Controller
IM540은 IE414·IE514 열음극 게이지를 읽는 진공 게이지 컨트롤러입니다. 피라니와 정전용량 격막 게이지도 함께 붙여 대기압부터 초고진공까지 최대 4개 측정 원리를 한 대로 다룹니다.
| 측정채널 | 3 |
| 측정 범위 (IE414) | 1×10⁻¹¹ … 1×10⁻² mbar |
| 측정 범위 (IE514) | 1×10⁻¹² … 1×10⁻⁴ mbar |
| 전원 전압 | 90…264 V (ac), 47…63 Hz |
| 인터페이스 | RS232C, Profibus (IF540P 장착 시) |
| 사용 온도 | +5…+40 °C |
| 보관온도 | -20…+60 °C |
| 무게 | 약 3.0 kg |
| 기록계 출력 | 로그 0…10 V (1 V/dec) 또는 선형 0…10 V |
| 스위칭 임계값 | 2개 (플로팅 절환 접점) |