INFICON BAG05x Hot Cathode Ionization Gauge
BAG05x는 VGC083 컨트롤러에 연결해 쓰는 수동형 Bayard-Alpert 열음극 게이지 헤드입니다. 노출형(BAG050·051)과 유리관형(BAG052·053)이 있고 저진공부터 초고진공까지 잽니다.
| 측정시스템 | 열음극 전리, Bayard-Alpert |
| 측정 범위 (BAG050) | 2.7×10⁻¹¹ … 1.3×10⁻³ mbar |
| X-ray한계(BAG050) | 2×10⁻¹¹ Torr |
| 베이크아웃 | 450°C |
| 측정 범위 (BAG051·052·053) | 5.3×10⁻¹⁰ … 1.3×10⁻³ mbar |
| X-ray한계(BAG051·052·053) | 4×10⁻¹⁰ Torr |
| 정확도(BAG051·052·053) | ±20% (N₂) |
| 재현성(BAG051·052·053) | ±5% |
| 감도 | BAG050 25 Torr⁻¹, BAG051~053 10 Torr⁻¹ |