INFICON BAG302 Hot Cathode Ionization Gauge
BAG302는 Bayard-Alpert 방식 열음극 이온 진공게이지입니다. 이트리아 코팅 이리듐 필라멘트 두 개와 OLED 표시창, 설정값 릴레이, RS485 통신을 한 몸에 갖춰 반도체 공정과 이송 챔버에 씁니다.
| 측정 범위 | 1.3×10⁻⁹ … 6.7×10⁻² mbar (1×10⁻⁹ … 5×10⁻² Torr) |
| 정확도 | 지시값의 ±15% (1.3×10⁻⁸…6.7×10⁻² mbar) |
| 공급 전압 | +20…+28 V (dc) |
| 인터페이스(디지털) | RS485 |
| 사용 온도 (동작) | 0…+40°C |
| 필라멘트 | Yt2O3 코팅 Ir 두 개 |
| 베이크아웃(센서만) | 플랜지 200°C (센서만, 전자부 제거) |
| 재현성 | ±5% (지시값) |
| 무게 | KF·CF 270 g (0.6 lb) |
| 보관온도 | -40…+70°C |