INFICON BCG450 3중 복합(BA·피라니·CDG) 진공게이지

INFICON BCG450 TripleGauge

TripleGauge BCG450은 Bayard-Alpert 열음극, 대류 피라니, 정전용량 격막 센서를 한 몸에 담은 3중 복합 진공게이지입니다. 센서 세 개를 하나로 줄여 설치가 간단하고 로드락 제어에 맞습니다.

INFICON BCG450 3중 복합(BA·피라니·CDG) 진공게이지INFICON BCG450 3중 복합(BA·피라니·CDG) 진공게이지 2

사양

측정 범위5×10⁻¹⁰ … 1500 mbar (3.75×10⁻¹⁰ … 1125 Torr)
정확도(10⁻⁸…50mbar)지시값의 ±15%
공급 전압20…28 V/0.8 A(dc)
최대 압력5 bar
보호 등급IP30
정확도(50…1050 mbar)50…950 mbar ±5%, 950…1050 mbar ±2.5%
재현성5% (10⁻⁸…10⁻² mbar)
베이크아웃플랜지 80°C, 전자부 제거 시 150°C
사용 온도0…+50°C
인터페이스RS232C (옵션 EtherCAT, DeviceNet, Profibus DP, Profinet)
치수67×59×112.5 mm (플랜지 높이 DN25 KF 42, DN40 CF 48)