INFICON IRG080 Hot Cathode Ionization Gauge
IRG080은 IRC081 컨트롤러에 연결해 쓰는 수동형 기준용 이온 게이지입니다. 열음극에서 나온 전자를 곧게 날려 가스 감도를 예측할 수 있고 고진공 측정과 다른 게이지의 교정 기준에 씁니다.
| 측정 범위 (IRC081 연결시) | <1×10⁻⁸ … 1×10⁻⁴ mbar |
| 전자방출감도 | 29 mbar⁻¹ (대표값) |
| 정확도 | 지시값의 ±1% |
| 베이크아웃(표준케이블) | +165°C, 커넥터없이 +400°C |
| 플랜지 연결 | DN 63 CF-R |
| 반복성(대표값) | 지시값의 1% |
| 사용 온도 | +20…+80 °C |
| 보관온도 | +20…+50 °C |
| 허용 외부 자기장 | ≤50 µT (차폐 없이, 게이지 축에 수직 평면) |
| 내부 체적 | 약 385 cm³ |
| 무게 | 4.3 kg |
| 치수 | ø113 x 높이 231 mm (215) |