INFICON PPG550 Pirani/Piezo Vacuum Gauge
PPG550은 MEMS 피라니 센서와 압전 센서를 한 플랜지에 담은 복합 진공게이지입니다. 2 mbar 위에서는 가스 종류와 관계없이 압력을 읽어 벤트를 안전하게 하고 높이가 낮아 좁은 곳에도 들어갑니다.
| 측정 범위 | 1×10⁻⁶ … 1333 mbar |
| 정확도(2…99.9mbar) | 지시값의 1% |
| 공급 전압 | +12…+30 V(dc), 리플 최대 1V |
| 최대 압력 (절대) | 10 bar |
| 응답 시간 | <20 ms |
| 동작온도 | -20…+50 °C |
| 보관온도 | -40…+120 °C |
| 베이크아웃 | +120 °C (비동작) |
| 보호 등급 | IP 40 |
| 무게 | DN16 ISO-KF ~136 g, DN25 ISO-KF ~155 g |