INFICON PPG570 Pirani/Piezo Vacuum Gauge
PPG570은 MEMS 피라니 센서와 압전 센서를 한 플랜지에 담은 복합 진공게이지입니다. 대기압 센서가 따로 있어 로드락처럼 대기압 기준 압력이 중요한 자리에 맞고 높이가 낮아 좁은 곳에도 들어갑니다.
| 측정 범위 | 1×10⁻⁶ … 1333 mbar |
| 정확도(2…99.9mbar) | 지시값의 1 % |
| 대기압 측정 범위 | 300 … 1200 mbar |
| 응답 시간 | <20 ms |
| 공급 전압 | +12 … +30 V (dc) |
| 소비 전력 | ≤3.5 W |
| 아날로그 출력 | 0.61 … 10.2 V / 0.375 … 5.570 V / 1.0 … 9 V |
| 인터페이스(디지털) | RS232 / RS485 |
| 플랜지 연결 | DN 16 ISO-KF / DN 25 ISO-KF / 4 VCR 암 / 1/8" NPT |
| 솔리드스테이트 릴레이 | 최대 3개 (50 V, 100 mA) |
| 무게 | DN16 ISO-KF ≈136 g, DN25 ISO-KF ≈155 g |
| 온도 보상 | +10…+50 °C |