INFICON VSA100A Vacuum Switch
VSA100A는 저진공 장비에 다는 안전용 진공 스위치입니다. 대기압보다 6 mbar 낮은 압력에서 격막이 접점을 바꿔 벤트 때 가스 공급을 끊는 데 쓰며 로드락 제어에도 맞습니다.
| 스위칭 압력 | 6 ± 2 mbar (대기압 이하) |
| 복귀 압력 | 3 ± 2 mbar (대기압 이하) |
| 사용 압력 (절대) | <2 bar |
| 사용 온도 (동작) | 0 … +85 °C |
| 접점 | 전환 접점, 24 V (dc) / 24 V (ac) |
| 플랜지 연결 | DN 16 ISO-KF |
| 진공 접촉 재질 | 스테인리스강 1.4305, EPDM, PTFE |
| 보호 등급 | IP 44 |
| 무게 | 315 g |
| 접점 전류 | 최대 30 mA (24 V dc), 100 mA (24 V ac), 최소 부하 1 mA (금도금 접점) |
| 헬륨 투과 | 5×10⁻⁵ mbar l/s (EPDM 격막, 다량 헬륨 공정 부적합) |
| 설치 방향 | 수직 (세움) |
| 내부 부피 | 2 cm³ |
| 보관온도 | -20 … +85 °C |
| 외형 | 높이 72 mm, 외경 ø48.5 mm |