INFICON VSC150A Vacuum Switch
VSC150A는 스위칭 압력을 조정할 수 있는 절대압 진공 스위치입니다. 기계식 격막 구조로 짧은 시간 과압에도 정확도를 지키며 밸브·펌프 제어와 로드락, 공정 챔버에 씁니다.
| 스위칭범위 | 0.5…2000 mbar |
| 오버로드 한계 | 3000 mbar |
| 스위칭 히스테리시스 | 0.5 mbar |
| 사용 온도 (동작) | 5…90°C |
| 보호 등급 | IP 65 |
| 응답 감도 | 0.1 mbar |
| 베이크아웃 | 120 °C (최대 8 h) |
| 스위치 접점 | n.c., 24 V / 10 mA, 접촉저항 <1 Ω |
| 스위치점 온도계수 | 0.4 %/K |
| 보관온도 | -20 … +70 °C |
| 무게 | 1.3 kg |
| 연결 | DN 16 ISO-KF |