Leybold UHV All-Metal Variable Leak Valve
| 몸체/벨로우즈 재질 | 1.4943(AISI 660) 또는 1.4404(AISI 316L) |
| 밸브 디스크 실 재질 | 다이어프램 1.4310(AISI 301), 금도금 |
| 누설율 | ≤1×10⁻¹⁰ mbar x l/s |
| 베이크 온도 | ≤300℃ |
| 접속 플랜지 | DN 16 CF-R |
| 분자 컨덕턴스 | 0.05 L/s |
| 조정 가스 유량 | 1×10⁻¹⁰ ~ 500 mbar·l/s (공기, 1 bar, 실온) |
| 데드 볼륨 | 시트 포트 2.7 / 사이드 포트 1.1 cm³ |
| 압력 범위 | UHV ~ 10 bar (abs) |
| 시험 압력 | 1 bar |
| 차압 | ≤10 bar |
| 첫 정비까지 | 20 000 사이클 |
| 내방사선 | 10⁸ Gy (10¹⁰ rad) |
| 개폐 회전수 | 22 |
| 무게 | 0.94 kg (2.07 lbs) |