LEYBOLD 가변 리크 밸브
Leybold Variable Leak Valve
사양
몸체 재질
스테인리스강
씰 재질
FPM(FKM)
제어 가스유량
5 x 10-6 – 1000 mbar x l/s
기밀
1 x 10-9 mbar x l/s
차압
2.5 bar
데드 볼륨
0.032 cm3
사용 온도
80 °C
베이크아웃(플랜지)
150 °C
연결
DN 16 ISO-KF
무게
0.4 kg
니들 슬리브 재질
fluorplastomer (원문 표기)
