Leybold Linear Motion Feedthrough
| 하우징 재질 | 스테인리스강 |
| FNL 16/25 · FNL 40/50 사양 | 호칭 16 CF-R / 40 CF-R, 축 연결 M 4 x 16 (M 4 x 0.63) / M 6 x 10, ∅ 10 (M 6 x 0.39, ∅ 0.39) mm(in.), 구동 수동, 스트로크 25.0 (0.98) / 50.0 (1.97) mm, 눈금 5.0 (0.20) / 10.0 (0.39) mm, 축 하중 반경 20 / 100 N, 축방향(진공 쪽) 85 / 140 N, 축방향(대기 쪽) 100 / 200 N, 비틀림 0.2 (1.77) / 0.5 (4.43) Nm(lbf-in), 기밀 5 x 10⁻¹¹ mbar x l/s, 압력(절대) 1 x 10⁻¹⁰ mbar ~ 2 bar, 베이크아웃 300 (572) °C(°F), 무게 0.15 (0.33) / 0.75 (1.66) kg(lbs) |