제품 소개
TURBOVAC i 시리즈는 90 ~ 1,450 l/s의 펌핑 속도를 제공하는 모듈식 터보분자 진공 펌프입니다.
하이브리드 로터 베어링이 적용되어 있으며, 아래의 구조로 설계되어 있습니다.
· 포어 진공 영역 : 윤활된 세라믹 볼 베어링
· 고진공 영역 : 마모되지 않는 자기 베어링
또한 모든 베어링은 일반적으로 윤활유가 필요하지 않으며,
윤활류 역류로 인한 진공 오염 문제를 방지합니다.
제품 특징
✔ 월등한 성능
다양한 공정에서 높은 가스 유량 처리
안정적이고 일관된 성능 제공
펌핑 속도 및 압축률 최적화
경량 가스 펌핑 속도 포함
✔ 무응력 작동
기계적 충격 및 거친 벤팅에 대한 내성
긴 시스템 가동 시간 확보
사용자 친화적 설치 및 유지보수
✔ 높은 유연성
UHV(초고진공) 대응 모델 포함
방사선 환경 대응 옵션
최대 200m 원격 운전 가능
공랭 / 수랭 선택 가능
모든 방향 설치 가능
✔ 입자에 강한 저항
기계적 충격 및 가혹 환경에 강함
기본 IP40 등급
850i 이상 모델: IP54 업그레이드 가능
수분 및 분진에 대한 내성 향상
TURBOVAC i 시리즈 구성