MFC FLOW MF-400C Mass Flow Controller (Analog)
| 유량 범위(Flow Range, N2 기준) | 100~200 SLM |
| 정확도(Accuracy) | 풀 스케일의 ≤2.0% |
| 직선성(Linearity) | 풀 스케일의 ≤0.5% |
| 응답 시간 (Response Time) | ≤2sec |
| 전원 | +15Vdc 또는 +24Vdc / 최대 300mA |
| 재질 (습윤부) | SUS 316L |
| 유량 제어 범위 | 풀 스케일의 2~100% |
| 반복성 | 풀 스케일의 ≤±0.2% |
| 사용 온도 | 0~50°C (정확도 보증 15~35°C) |
| 사용 압력 | 문의 |
| 누설률 | 1x10^-8 Pa.m3/sec (He) |
| 씰 재질 | FKM (Viton)/H-NBR(Buna)/FFKM(Kalrez)/Teflon/EPDM |
| 제어 방식 | Normally Closed Solenoid |
| 커넥터 | D-Sub 9 Pin Male |
| 피팅 | LOK 1/4",3/8",1/2" VCR 1/4",1/2" |
| 인터페이스 | 아날로그 |