MFC FLOW MF-400DC Mass Flow Controller (Digital)
| 유량 범위(N2 기준) | 100~200 SLM |
| 유량 제어 범위 | 풀 스케일의 2~100% |
| 정확도 | 풀 스케일의 ≤±1.0% |
| 직선성 | 풀 스케일의 ≤±0.5% |
| 반복성 | 풀 스케일의 ≤±0.2% |
| 응답 시간 | ≤1sec |
| 사용 압력 | 문의 |
| 사용 온도 | 0~50°C (정확도 보증 15~35°C) |
| 누설률 | 1x10^-8 Pa.m3/sec (He) |
| 전원 | +15~+24Vdc / 최대 350mA |
| 출력 신호 | 0~5Vdc 또는 4~20mA |
| 씰 재질 | FKM (Viton)/H-NBR(Buna)/FFKM(Kalrez)/Teflon/EPDM |
| 피팅 | LOK 1/4",3/8",1/2" VCR 1/4",1/2" |
| 인터페이스 | 디지털 RS-485 (Modbus RTU) |
| 주요 부품 재질 | SS316L |
| 예열 시간 | 15분 (정확도 보증 30분) |