MOHS-C 올덤 커플링(클램프식, VESPEL 스페이서)

MOHS-C Oldham Coupling (Clamping, VESPEL Spacer)

모델명: MOHS-C

반도체 장비용 진공·클린룸 부품. MOHS-C 올덤 커플링(클램프식, VESPEL 스페이서).

특징

• 진공·내열 우수(사용 온도 -20~200 ℃)
• 편심 허용 폭이 큼
• 전기 절연

사양

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