VSYS VFX3000 매스플로우 컨트롤러·미터 (MFC)

VSYS VFX3000 Mass Flow Controller / Meter

VSYS VFX3000 매스플로우 컨트롤러·미터 (MFC)VSYS VFX3000 매스플로우 컨트롤러·미터 (MFC) 2

사양

전원15~28V DC (24VDC 권장)
유량 정확도±0.2% F.S.(0~10% F.S. 구간) / ±1.0% O.R.(10~100% F.S. 구간), 그 외 온도·레인지에서는 ±0.5% F.S. / ±2.0% O.R.
사용 온도0~50C
응답 시간 (Settling time)<150ms