Manual valve for chemical liquids (for liquid supply)
모델명: MMD※0H
반도체 제조 설비의 약액 라인에서 고압과 높은 배압에 대응하는 수동 밸브입니다. 완전히 열거나 닫아 사용하며 유량 조절용으로는 사용할 수 없습니다.
| 사용 유체(재질·유체·주위 환경 적합성 확인) | 약액, 순수, 공기, N2 가스 |
| 유체 온도 (°C) | 5~40 |
| 내압 (MPa) | 1.4 |
| 사용 압력 (A→B) (MPa) | 0~0.7 |
| 시트 누설량 (cm3/min) | 0 (수압) |
| 배압 (MPa) | 0~0.7 |
| 주위 온도 (°C) | 0~40 |
| 설치 방향 | 제한 없음 |