Manual valve for chemical liquids Metal-free type
모델명: MMD※0M
반도체 제조 공정의 염산과 불산 라인에 사용하는 메탈프리 수동 밸브입니다. MMD30M과 MMD50M 모델로 구성됩니다.
| 사용 유체 (제품 구성 재질·유체·주위 환경의 적합성 확인 사항) | 약액, 순수, 공기, N2 가스 |
| 유체 온도 (°C) | 5~40 |
| 내압 (MPa) | 1.0 |
| 사용 압력 (A→B) (MPa) | 0~0.5 |
| 시트 누설량 (cm3/min) | 0 (수압) |
| 배압 (MPa) | 0~0.5 |
| 주위 온도 (°C) | 0~40 |
| 설치 방향 | 제한 없음 |