Vacuum generator
모델명: VG
공정 가스 배기에 사용하는 절약형 진공 발생기입니다. 고효율 노즐을 사용하며 공급 유체는 질소 또는 건조 공기입니다.
| 사용 유체 | 불활성 가스 / 공정 가스 |
| 유체 온도 (°C) | 0 to 80 |
| 공급 유체 | 질소, 건조 공기 |
| 공급 유체 압력 (MPa, 운전 중) | 0.4 to 0.6 |
| 공급 유체 소비량 (L/min (ANR), 운전 중 압력 0.5 MPa) | 16 or less |
| 도달 진공도 (kPa (abs)) | 13.3 or less |
| 배기 유량 (L/min (ANR), 공기 사용 및 운전 중 압력 0.5 MPa) | 6 or more |
| 내압 (MPa) | 3 |
| 주위 온도 (°C) | 0 to 80 |
| 질량 (kg) | 0.2 |
| 노즐 지름 (mm) | ø0.5 |
| 가스 접촉 금속부 재질 | SS316L |
| O링 재질 | FKM or FFKM |
| IN 접속 | 1/4" JXR Male Fitting |
| VAC. 접속 | 1/4" JXR Female Fitting |
| VENT 접속 | 3/8" JXR Male Fitting |