P5* / P7* Series for Cleanrooms Compact Flow Rate Sensor RAPIFLOW®
모델명: FSM3-P70 / FSM3-P80
클린룸 사양을 선택할 수 있는 RAPIFLOW 소형 유량 센서입니다. 수지 몸체의 LCD 표시형에는 가스 종류 선택과 유량 적산 기능이 있습니다.
| 디스플레이 | 4자리 + 4자리 2색 LCD |
| 유체 온도 범위 | 0~50°C (결로 없을 것) |
| 사용 주위 온도 및 습도 | 0~50 °C, 90% RH 이하 |
| 소비 전류 (24 VDC, 무부하 기준) | 45 mA 이하 |
| 보호 등급 | IP40 상당 (IEC 규격) |
| 설치 방향 (수직 설치 시 대류로 영점이 변할 수 있음) | 수직·수평 방향 제한 없음 |
| 직관부 (배관 조건에 따라 정확도 영향, 500·1,000 L/min 모델은 배관 내경 9 mm 이상) | 불필요 |
| 내압 | 1 MPa |
| 보관 온도 | −10~60°C |
| 응답 시간 (실제 응답은 배관 조건에 따라 달라짐) | 50 msec 이하 (응답 시간 설정 OFF) |
| 전원 전압, 전압 출력형 | 12~24 VDC (10.8~26.4 V) 리플률 1% 이하 |
| 전원 전압, 전류 출력형 | 24 VDC (21.6~26.4 V) 리플률 1% 이하 |
| 사용 압력 범위 | −0.09~0.75 MPa |