Ebara EST Harsh Process Dry Vacuum Pump
| 도달 압력 (Pa/mbar) | 2.7/2.7e-2, 2.7/2.7e-2, 0.4/4e-3, 0.4/4e-3, 0.4/4e-3, 0.4/4e-3 (EST10N / 25N / 100WN / 200WN / 300WN / 500WN 순) |
| 모델 | EST10N, EST25N, EST100WN, EST200WN, EST300WN, EST500WN |
| 배기 속도 | 1,000 / 2,500 / 10,000 / 20,000 / 30,000 / 50,000 l/min (m3/h: 60 / 150 / 600 / 1,200 / 1,800 / 3,000) (EST10N / 25N / 100WN / 200WN / 300WN / 500WN 순) |
| 도달 압력 시 소비 전력 | 2.3 / 3.0 / 3.2 / 3.2 / 4.5 / 4.6 kW (EST10N / 25N / 100WN / 200WN / 300WN / 500WN 순) |
| 냉각수 유량 | 5~8 l/min (전 모델 공통) |