에바라(EBARA)는 일본의 반도체·산업용 건식(드라이) 진공펌프 제조사입니다. 공랭식부터 라이트·미들·하시 프로세스까지 공정 부하별로 최적화된 드라이 진공펌프 라인업과 터보분자펌프를 공급합니다. 반도체 제조 공정의 배기 시스템에서 다양한 가스 부하 조건에 대응하는 데 쓰입니다.