Ebara

드라이 진공펌프 누적 19만 대 출하. 글로벌 점유율 2위의 기계 제조사입니다.

에바라제작소는 1912년 창업하고 1920년 설립된 일본의 기계 제조사로, 본사는 도쿄 오타구에 있습니다. 정밀·전자 부문에서 진공펌프, CMP 장치, 배기가스 처리장치를 생산하며 에너지·건축산업·인프라·환경 부문도 함께 운영합니다. 드라이 진공펌프는 오일이나 액체로 실링하지 않는 비접촉식 펌프로 반도체·FPD·LED·태양전지 공정에 쓰이며 누적 199,414대 이상을 출하했습니다. 드라이 진공펌프와 CMP 장치는 글로벌 점유율 2위입니다.

주요 연혁

1. 1912 창업
2. 1920 에바라제작소로 상호 변경, 일본 최초 펌프 전용 공장 설립
3. 1985 정밀기계 사업 진출(반도체 산업용)
4. 1986 루츠식 드라이 진공펌프 첫 납품

원산지

일본

공급 형태

취급

Ebara 취급 제품

• 에바라 EV-X 미들·하시 프로세스 드라이 진공펌프
• 에바라 EV-PA 공랭식 드라이 진공펌프
• 에바라 EV-A 공랭식 드라이 진공펌프
• 에바라 EMT 마그네틱 베어링 터보분자펌프
• 에바라 EV-SA 공랭식 드라이 진공펌프
• 에바라 EBT 세라믹 베어링 터보분자펌프
• 에바라 MK 마그네틱 부상 터보분자펌프
• 에바라 EV-S 라이트 프로세스 드라이 진공펌프
• 에바라 MK-R 마그네틱 부상 터보분자펌프
• 에바라 ESA 라이트 프로세스 드라이 진공펌프
• 에바라 ESR 미들 프로세스 드라이 진공펌프
• 에바라 EV-L 미들 프로세스 드라이 진공펌프
• 에바라 EST 하시 프로세스 드라이 진공펌프
• 에바라 EV-M 하시 프로세스 드라이 진공펌프

왜 밸브파크인가요?

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