Ebara EV-M Harsh Process Dry Vacuum Pump
| 도달 압력 (Pa/mbar) | EV-M20N 5/5e-2, 나머지 6개 모델 0.5/5e-3 |
| 모델 | EV-M20N, EV-M102N, EV-M202N, EV-M302N, EV-M502N, EV-M802N, EV-M1205N |
| 도달 압력 시 소비 전력 | 1.2 / 1.8 / 1.9 / 2.3 / 2.1 / 2.8 / 5.3 kW (EV-M20N / M102N / M202N / M302N / M502N / M802N / M1205N 순) |
| 냉각수 유량 | 3-8 / 3-8 / 3.5-8 / 4-8 / 5-8 / 5-8 / 5-8 l/min (EV-M20N / M102N / M202N / M302N / M502N / M802N / M1205N 순) |
| 배기 속도 | 110 / 600 / 1,200 / 1,800 / 3,000 / 4,800 / 6,600 m³/h (EV-M20N / M102N / M202N / M302N / M502N / M802N / M1205N 순) |
| N2 퍼지 유량 | 26~31 / 26~31 / 26~81 / 26~31 / 28~33 / 28~33 / 34~35 Pa·m³/s (EV-M20N / M102N / M202N / M302N / M502N / M802N / M1205N 순) |
| 무게 | 170 / 320 / 360 / 400 / 500 / 740 / 870 kg (EV-M20N / M102N / M202N / M302N / M502N / M802N / M1205N 순) |
| 냉각 방식 | 수랭 |