Ebara EBT Ceramic Bearing Turbomolecular Pump
EBARA EBT는 세라믹 베어링을 사용하는 기계식 베어링 복합 터보분자펌프 제품군입니다. 제조사는 고진공 용도로 소개하며 반도체, 박막, 태양광과 분석기 분야를 적용 예로 안내합니다. 펌프를 설치하는 방향에 제한이 없으며 냉각 방식과 플랜지, 컨트롤러 구성은 하위 모델이나 선택 사양에 따라 구분됩니다.
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