에바라 MK 마그네틱 부상 터보분자펌프

Ebara MK Magnetically Levitated Turbomolecular Pump

에바라 MK 마그네틱 부상 터보분자펌프에바라 MK 마그네틱 부상 터보분자펌프 2

사양

펌핑 속도(N2)1650~4200 L/sec (모델별)
최고 압축비(N2)>2x10^8 (모델별 상이)
기저 압력<2x10^-7 Pa (EMT3804MK/EMT4204MK는 <5x10^-7 Pa)
정격 회전속도24000~27000 min-1

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