Ebara EMT Magnetic Bearing Turbomolecular Pump
| 최대 배압 | 400 Pa [3 Torr] / 400 Pa [3 Torr] / 500 Pa [3.8 Torr] / 500 Pa [3.8 Torr] / 200 Pa [1.5 Torr] (EMT397 / 427 / 907 / 1307 / 2400 순) |
| 정격 회전수 | 40800 / 40800 / 33600 / 33600 / 31200 min-1 (EMT397 / 427 / 907 / 1307 / 2400 순) |
| 무게(약) | 16 / 19 / 37 / 45 / 45 kg (EMT397 / 427 / 907 / 1307 / 2400 순) |
| 모델 | EMT397, EMT427, EMT907, EMT1307, EMT2400 |
| 흡기 플랜지 | EMT397 ISO-K100 / EMT427 ISO-F160 / EMT907 ISO-F160 / EMT1307 ISO-F200 / EMT2400 ISO-F250 |
| 배기 플랜지 | EMT397 KF25 / EMT427 KF25 / EMT907 KF40 / EMT1307 KF40 / EMT2400 KF40 |
| 배기 속도 (N2) | 340 / 400 / 900 / 1300 / 2400 L/s (EMT397 / 427 / 907 / 1307 / 2400 순) |