HTC 3포지션 펜듈럼 밸브

HTC 3-Position Pendulum Valve

HTC 3포지션 펜듈럼 밸브는 공정 챔버와 터보분자펌프 사이에 설치하는 전기 공압 구동 진공 밸브입니다. 열림과 닫힘에 더해 중간 위치 한 곳을 두어 압력을 한 단계 조절하고 리드 센서로 위치를 확인합니다. 접속 규격은 ISO200·250·320 플랜지입니다.

특징

HTC 3포지션 펜듈럼 밸브HTC 3포지션 펜듈럼 밸브 2

사양

몸체 재질A6061-T6
게이트 재질A6061-T6
접속ISO200/ISO250/ISO320 플랜지
구동 방식Electro-Pneumatic
위치열림, 닫힘, 중간 위치
위치 확인리드 센서
솔레노이드 전압DC24V
공급 공기압4~6 kg/cm²
헬륨 누설률(차압 1 atm)알루미늄 몸체 < 1×10⁻⁹ mbar·L/s, 하드 아노다이징 몸체 < 1×10⁻⁵ mbar·L/s
사용 압력알루미늄 몸체 1×10⁻⁸ mbar ~ 1.2 bar, 하드 아노다이징 몸체 1×10⁻⁶ mbar ~ 1.2 bar
최대 차압1.2 bar (열 때 5 mbar 이하)
사용 온도(베이크)몸체 ≤120℃, 액추에이터 ≤80℃, 솔레노이드밸브 ≤50℃
수명개폐 200,000회
시트 재질Viton O-ring (게이트/본넷)
무게ISO200 22 kg, ISO250 32 kg, ISO320 52 kg
설치 방향수평, 수직
옵션게이트 O-ring 재질 변경, 히터

자주 묻는 질문

APC형과 무엇이 다른가요?
3포지션은 전기 공압 실린더로 열림, 닫힘, 중간 위치 한 곳을 오가며 압력을 한 단계 조절합니다. 개도를 연속으로 조절하는 압력 제어는 스텝모터와 전용 컨트롤러를 쓰는 APC형이 맡습니다.
알루미늄 몸체와 하드 아노다이징 몸체는 사양이 어떻게 다른가요?
알루미늄 몸체는 헬륨 누설률이 1×10⁻⁹ mbar·L/s 미만이고 사용 압력은 1×10⁻⁸ mbar~1.2 bar입니다. 하드 아노다이징 몸체는 헬륨 누설률이 1×10⁻⁵ mbar·L/s 미만이고 사용 압력은 1×10⁻⁶ mbar~1.2 bar입니다. 누설률은 둘 다 차압 1 atm 기준의 제조사 카탈로그 값입니다.
외부 제어 신호는 어떻게 연결하나요?
DA-15 커넥터로 24 VDC 전원과 열림, 닫힘, 중간 위치 입력 신호를 넣고 열림, 닫힘, 중간 위치(3A, 3B) 출력 신호를 받습니다. 배선은 24AWG 전선을 권장합니다.
기존 장비에 맞는지 어떻게 확인하나요?
포트 직경, 플랜지 외경, 볼트 P.C.D.는 치수표와 먼저 대조해 볼 수 있습니다. 밸브 길이와 구동부 위치는 도면을 받아 확인합니다. 같은 구경이어도 도면을 보기 전에는 맞는지 단정할 수 없습니다.