INFICON UL3000 Fab / Fab ULTRA Mobile Helium Leak Detector
UL3000 Fab은 반도체와 디스플레이 제조 장비의 누설 점검을 위해 만든 이동식 헬륨 누설 검출기입니다. 대형 누설을 배기 전에 찾는 MASSIVE 기능, I-CAL 고속 측정 알고리즘, 3년 이온원 보증이 특징이고, Fab ULTRA는 HYDRO·S 수증기 배경 억제와 더 빠른 배기를 더했습니다.
| 모델 | UL3000 Fab / UL3000 Fab ULTRA |
| 최소 검출 누설률 (헬륨, 진공 방식) | 5×10⁻¹² mbar l/s 미만 |
| 최소 검출 누설률 (헬륨, 스니퍼 모드) | 5×10⁻⁸ mbar l/s 미만 |
| 최대 입구 압력 (MASSIVE 모드) | 1000 mbar |
| 배기 속도 (진공 배기 중) | UL3000 Fab 32 m³/h 초과 / UL3000 Fab ULTRA 36 m³/h 초과 |
| 헬륨 배기 속도 (고감도 ULTRA 모드) | 4 l/s |
| 응답 시간 | 1 s 미만 |
| 준비 시간 | 3분 미만 |
| 검출 가능 질량 (ULTRATEST 센서 기술) | 2, 3, 4 (H₂, ³He, He) |
| 이온원 | 이리듐/산화이트륨 코팅 필라멘트 2개 (이온원 보증 3년) |
| 시험 포트 | DN 25 KF |
| 조정 가능한 트리거 | 4 |
| 인터페이스 | USB 2개, Ethernet/LAN |
| 공급 전압 | 100 ~ 240 V 50/60 Hz (AC) |
| 소비 전력 | 일반 700 VA, 최대 1500 VA |
| 치수 (길이 × 폭 × 높이) | 1050 × 472 × 987 mm (42 × 21 × 34 in.) |
| 무게 | UL3000 Fab 118 kg / UL3000 Fab ULTRA 132 kg |
| 허용 주위 온도 (작동 중) | 10 ~ 40 °C |
| 추가 기능 | UL3000 Fab ULTRA만: HYDRO·S, 별도 스니퍼 라인 SL3000 포트 |
| 표시·조작 | 터치 표시창과 안내형 조작, 회전식 고해상도 컬러 표시창, Wi-Fi로 모바일 기기 원격 제어, 데이터 저장, USB 메모리로 데이터 내보내기(접근 제어) |
| 주요 기능 | I-CAL 소프트웨어 알고리즘(10⁻⁹ ~ 10⁻¹² mbar l/s 범위 고속 측정), I·ZERO 2.0 배경 억제, 대형 누설 조기 검출 MASSIVE 기능 |