INFICON UL5000 Mobile Helium Leak Detector
UL5000은 반도체·디스플레이·태양전지 제조와 진공 장비 시험에 쓰는 이동식 헬륨 누설 검출기입니다. I·CAL 알고리즘과 HYDRO·S(수소 억제), 부스터 터보분자펌프로 시험 조건에 빠르게 도달하고, 회전식 표시창과 선택형 무선 원격 제어로 쓰기 쉽습니다.
| 최소 검출 누설률 (진공 모드) | 5×10⁻¹² mbar·l/s 미만 |
| 최소 검출 누설률 (헬륨, 스니퍼 모드) | 5×10⁻⁸ mbar·l/s 미만 |
| 최대 검출 누설률 (헬륨) | 30 mbar l/s |
| 최대 입구 압력 (GROSS 모드) | 15 mbar |
| 시동 시간 | 4분 미만 |
| 배기 속도 (진공 배기 중) | 25 m³/h (17.6 cfm) |
| 헬륨 배기 속도 (ULTRA 모드) | 20 l/s 초과 |
| 누설 시험 준비까지 시간 (10⁻⁹ mbar l/s 범위 누설, HYDRO·S 사용) | 입구(시험 용적 없음) 10초 미만 / 시험 용적 50 l 150초 미만 |
| 벤트 시간 (시험 용적 100 l) | 약 25초 |
| 검출 가능 질량 (ULTRATEST 센서 기술) | 2, 3, 4 (H₂, ³He, He) |
| 검출기 | 180° 질량분석계, 모든 부품 스테인리스강, 이온원 보증 3년 |
| 전원 | 100 V, 115 V, 230 V, 1200 VA (주문 코드: 230 V 50 Hz / 100·115 V 50·60 Hz) |
| 무게 | 140 kg (308 lb.) |
| 치수 (손잡이 포함, 길이 × 폭 × 높이) | 1080 × 530 × 1083 mm (42.5 × 21 × 42.6 in.) |
| 주요 기능 | I·CAL 고속 검출 알고리즘, HYDRO·S(수소 억제)로 시험 조건에 빠르게 도달, I·ZERO 선택형 배경 억제, 부스터 터보분자펌프, 내장 시험 누설과 자동 교정 |
| 표시·조작 | 회전식 표시창(디지털, 막대 그래프, 추이, 원형 표시), 시작·영점·정지 버튼. 선택 사양: 원격 제어 RC1000WL(무선, 터치스크린), RC1000C(유선) |