INFICON UL6000 Fab Helium Leak Detector
모델명: UL6000 Fab
반도체 설비의 대형 챔버와 배관 누설 시험에 쓰는 헬륨 누설 탐지기입니다. ULTRATEST 센서 기술로 수소(질량 2)와 헬륨(질량 3, 4)을 검출하고, 대기압에서도 시험할 수 있는 MASSIVE 모드를 갖췄습니다. Fab와 Fab PLUS 두 가지로 공급됩니다.
| 최소 감지 누설률 (진공 방식) | 5×10-12 mbar·L/s 미만 |
| 최소 감지 누설률 (스니퍼 방식) | 5×10-8 mbar·L/s 미만 |
| 최대 입구 압력 (MASSIVE 모드) | 대기압 (약 1013 mbar) |
| 예비 배기 펌프 | 루츠 방식 |
| 헬륨 배기 속도 (ULTRA 모드) | 36 L/s 초과 |
| 응답 시간 (50 L) | 1.4초 |
| 1 mbar 도달 시간 (50 L) | 52초 |
| 가동 준비 시간 | 2분 미만 |
| 입구 플랜지 | DN63 ISO-K |
| 검출 질량 | 2, 3, 4 (H2, 3He, He) |
| 전원 | 100~230 V, 50/60 Hz |
| 소비 전력 (최대 / 일반) | 1500 VA / 700 VA |
| 치수 (길이 x 폭 x 높이) | 1050 x 427 x 1040 mm |
| 무게 | 143 kg |