LEYBOLD UHV All-Metal Right-Angle Valve
| 몸체/벨로우즈 재질 | 스테인리스강 1.4404 |
| 밸브 디스크 실 재질 | Metal(은도금) |
| 누설율 | <1×10⁻¹⁰ mbar x l/s |
| 베이크 온도 | ≤300℃ |
| 밸브 디스크 재질 | 스테인리스강 1.4404, 1.4435 |
| DN별 값(16 / 40 / 63 CF) | 회전수 6/11/9, 컨덕턴스 5/50/105 L/s, 무게 0.4/1.9/5.9 kg |
| 차압 | 2 bar (양방향), 개방 시 1 bar |
| 사용 압력 | 1×10⁻¹¹ mbar ~ 2 bar |
| 수명 | 1000 사이클 |
| 승온·냉각 속도 | ≤60 °C/h |