안녕하세요. 밸브파크 입니다.
오늘은 반도체, 디스플레이, 태양광 등 진공 배관 라인에 필수적으로
사용되는 진공 앵글 밸브에 대해서 소개해 드리겠습니다.
주요 특징과 스펙, 사진까지 자세히 보여드릴게요!
진공 앵글밸브는 진공 라인에서 유체(기체)의 흐름을 정밀하게 제어하기 위한 밸브로,
특히 고진공 환경에서의 차단 및 개폐 기능을 수행하는 핵심 부품입니다.
본 제품은 SUS304 재질과 벨로우즈(BELLOWS) 구조를 적용하여
내식성과 기밀성을 동시에 확보한 것이 특징입니다.
• 반도체 제조 공정
• 디스플레이 및 OLED 생산라인
• 태양광 장비
• 진공 챔버 및 배관 시스템
고청정 환경과 누설 방지가 중요한 산업군에서 필수적으로 사용됩니다.
내식성과 내구성이 우수한 스테인리스강 SUS304 사용
표면 마감
기계 연마 + 전해 연마 처리로 표면이 매끄럽고 오염에 강해요
진공 측 O-링
FKM (Viton) 블랙 소재로 내열성과 내화학성이 뛰어나 진공 유지에 효과적입니다.
핸들
가볍고 튼튼한 알루미늄 재질
SUS316L의 고급 스테인리스로 제작되어, 진동과 압력 변화에도 안정적입니다.
최대 차압(Differential Pressure)
최대 1.2bar 이하에서 사용 가능합니다.
최대 사용 온도(Max. working Temp)
60℃ 이하의 환경에서 사용 권장합니다.
헬륨 가스 누설률(He Gas Leak Rate)
5.0 × 10⁻⁹ cc/sec 이하로, 아주 미세한 누설도 거의 없는 고밀폐 제품입니다.
✔ 벨로우즈 씰 구조로 누설 최소화
✔ SUS304 바디+ 정밀 연마 마감
✔Oil Free (무윤활 구조) → 클린룸 공정에 최적
✔ 전수 혤륨 리크 테스트 완료
✔ NW16 ~ NW160 사이즈까지 제작 가능
또한, 진공 앵글 밸브는
삼성전자 평택캠퍼스 파운드리 라인(P2, P3, P4)에
정밀 진공 밸브 및 수동 밸브를 지속적으로 공급해오고 있다는 사실!
생각보다 검증된 품질에 놀라셨나요?
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