제품: VV-01 진공 2WAY 볼밸브(SUS316 3PC, NW16~NW100)
납품: 삼성전자·SK하이닉스 반도체 공정, 삼성디스플레이
품질: 대만 생산, 전량 헬륨 리크 테스트 후 출하
씰: 기체 방출이 적은 바이톤(FKM)
손잡이: 수직 설치에도 풀리지 않는 특허 잠금 구조
구동: 수동 VV-01, 전동 VVE-09, 공압 VVP-01(복동)·VVP-02(단동)
안녕하세요, 밸브파크입니다.
반도체와 디스플레이 공정의 진공 배관은 차단 밸브 한 대의 누설이 라인 전체의 진공도에 영향을 주므로, 밸브의 납품 이력과 검사 기준을 함께 확인합니다. VV-01은 삼성전자와 SK하이닉스의 반도체 공정에 꾸준히 납품하고 있으며, 삼성디스플레이에도 공급하고 있는 SUS316 진공 2WAY 볼밸브입니다.
반도체·디스플레이 진공 라인에 지속 납품 중인 볼밸브
레버 손잡이를 단 VV-01 진공 2WAY 볼밸브
VV-01은 몸통을 세 조각으로 나눈 3PC 구조로, 배관에서 양쪽 끝단을 떼지 않고 가운데 몸통만 분리해 시트와 씰을 교체할 수 있습니다. 내부 유분을 제거한 상태(Clean & Oil Free)로 출하합니다.
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 몸통 재질 | SUS316(CF8M), 3PC |
| 볼 재질 | SUS316 |
| 연결 규격 | NW16~NW50은 KF 플랜지, NW63~NW100은 ISO 플랜지 |
| 시트 | PTFE |
| 씰 | 바이톤(FKM) |
| 사용 진공도 | 1×10⁻⁵ Torr |
| 헬륨 누설률 | 1×10⁻⁹ atm·cc/sec |
| 장착면 | ISO 5211 직결 장착 패드 |
| 손잡이 | 잠금장치가 달린 레버 |
몸통: SUS316(CF8M), 3PC
볼: SUS316
연결: NW16~NW50 KF 플랜지, NW63~NW100 ISO 플랜지
시트: PTFE, 씰: 바이톤(FKM)
사용 진공도: 1×10⁻⁵ Torr
헬륨 누설률: 1×10⁻⁹ atm·cc/sec
장착면: ISO 5211 직결 장착 패드
손잡이: 잠금장치가 달린 레버
상부에는 국내 최초로 적용한 ISO 5211 직결 장착 패드가 있어, 브래킷 없이 액추에이터(밸브 구동 장치)를 바로 올릴 수 있습니다.
NW 플랜지 연결부와 3PC 몸통
진공 배관의 씰은 재질에서 나오는 기체가 적어야 진공도를 유지할 수 있어, VV-01은 씰에 바이톤(FKM, 불소 고무)을 적용했습니다. 생산은 대만 공장에서 하며, 전량 헬륨 리크 테스트를 통과한 제품만 출하합니다.
같은 규격의 일반 유통 제품과 비교하면 차이는 사용 기간이 길어질수록 드러납니다.
| 비교 항목 | VV-01 | 일반 유통 제품 |
|---|---|---|
| 생산·검사 | 대만 생산, 전량 헬륨 리크 테스트 | 제조사와 로트에 따라 검사 범위가 다름 |
| 씰 재질 | 바이톤(FKM) | 재질 표기 확인이 필요함 |
| 사용 수명 | 반복 개폐에도 누설 성능을 오래 유지 | 사용 중 누설로 교체 주기가 짧아지는 경우가 있음 |
| 잠금 손잡이 | 수직 설치에도 유지되는 특허 구조 | 잠금 구조 확인이 필요함 |
| 납품 이력 | 삼성전자·SK하이닉스·삼성디스플레이 | 개별 확인이 필요함 |
1️⃣ 생산·검사: 대만 생산, 전량 헬륨 리크 테스트
2️⃣ 씰 재질: 바이톤(FKM)
3️⃣ 사용 수명: 반복 개폐에도 누설 성능을 오래 유지
4️⃣ 잠금 손잡이: 수직 설치에도 유지되는 특허 구조
5️⃣ 납품 이력: 삼성전자·SK하이닉스·삼성디스플레이
교체 주기까지 따지면 달라지는 진공 밸브 비용
단가만 보면 차이가 나지만, 누설로 라인을 세우고 밸브를 교체하는 비용까지 더하면 수명이 긴 제품이 유리합니다.
VV-01의 손잡이에는 특허(제10-2594296호)를 받은 잠금 구조를 적용했습니다. 일반 잠금 구조는 밸브를 수직 배관에 설치하고 시간이 지나면 잠금장치가 아래로 내려와, 손잡이가 돌아가며 밸브 개도가 바뀔 수 있습니다.
특허 구조는 스프링이 잠금장치를 붙잡아 두어, 수직으로 설치한 뒤에도 잠금이 풀리지 않고 개도를 유지합니다. 장비 진동이나 반복 조작으로 손잡이가 돌아가는 것도 억제해, 진공 라인이 의도하지 않게 열리거나 닫히는 일을 막는 데 도움이 됩니다.
레버 아래 잠금장치가 달린 VV-01 손잡이
VV-01은 레버 손잡이를 단 수동 사양과 손잡이 없이 본체만 공급하는 베어 사양이 있으며, 전동과 공압 모델도 같은 본체에 액추에이터를 올린 구성입니다.
| 현장에서 직접 여닫는 자리, 이후 자동화를 계획한 라인 | VV-01 수동·베어 |
| 공기 배관 없이 전기로 구동하는 자리, 개도 조절이 필요한 라인 | VVE-09 전동 |
| 공기로 열고 공기로 닫는 반복 자동 차단 | VVP-01 공압 복동 |
| 공기가 끊기면 닫혀야 하는 라인 | VVP-02 공압 단동 |
손잡이 없이 본체만 공급하는 VV-01 베어 사양
전동 VVE-09는 220VAC 단상 전원이 기본 사양입니다. 다른 전원이나 4~20mA·0~10VDC 신호로 개도를 조절하는 비례제어가 필요한 경우에는 문의해 주시기 바랍니다.
전동 액추에이터를 올린 VVE-09
공압은 구동 방식에 따라 두 모델로 나뉩니다. VVP-01은 열 때와 닫을 때 모두 공기를 넣는 복동(더블액팅)이고, VVP-02는 스프링이 밸브를 되돌리는 단동(싱글액팅)으로 공기가 끊기면 닫힘 위치로 돌아갑니다.
복동 공압 액추에이터를 올린 VVP-01
단동(스프링 리턴) 공압 액추에이터를 올린 VVP-02
Q. 수동으로 쓰던 밸브를 나중에 자동으로 바꿀 수 있나요?
바꿀 수 있습니다. 본체는 그대로 두고 손잡이 자리에 전동이나 공압 액추에이터를 올리면 됩니다.
Q. 복동 VVP-01은 공기 공급이 끊기면 어떻게 되나요?
정해 둔 위치로 돌아가지 않습니다. 복동은 되돌리는 스프링이 없기 때문이며, 공기가 끊길 때 라인이 닫혀 있어야 한다면 단동 VVP-02를 선정합니다.
Q. 초고진공 라인에도 쓸 수 있나요?
그대로는 권하지 않습니다. VV-01은 사용 진공도 1×10⁻⁵ Torr의 일반 고진공 라인 차단용이며, 초고진공(UHV) 라인은 사용 조건을 확인해 별도로 검토해야 합니다.
아래 항목을 알려 주시면 사양 검토를 시작할 수 있습니다.
1️⃣ 연결 규격: 기존 배관의 NW 호칭(NW16~NW100)
2️⃣ 구동 방식: 수동, 베어, 전동, 공압 가운데 필요한 것
3️⃣ 전동이라면: 현장 전원과 비례제어 필요 여부
4️⃣ 공압이라면: 복동인지 단동인지, 리밋 스위치 등 함께 달 부속
5️⃣ 사용 조건: 흐르는 가스와 온도, 목표 진공도
기존 밸브를 교체하는 경우에는 현재 모델명이나 사진을 함께 보내 주시기 바랍니다.
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