HTC 3-Position Throttle Gate Valve GVBB3P-SS-P (HV/UHV)
모델명: GVBB3P-SS-P
완전 열림, 스로틀 위치, 완전 닫힘의 세 위치로 움직이는 공압 구동 게이트밸브입니다. 고진공(HV)용 ISO 플랜지형과 초고진공(UHV)용 CF 플랜지형이 있습니다.
| 구동 방식 | 공압 |
| 본체 재질 | SS304 |
| 벨로우즈 재질 | AM350 |
| 압력 범위 (HV, mbar) | 1×10⁻⁸ ~ 1000 |
| 압력 범위 (UHV, mbar) | 1×10⁻¹⁰ ~ 1000 |
| 최대 차압 (mbar) | ≤ 30 (열기 전) |
| 헬륨 누설률 (오링 씰, mbar·l/s) | < 2×10⁻⁹ |
| 헬륨 누설률 (가스켓 씰, mbar·l/s) | < 5×10⁻¹⁰ |
| 베이크 온도 (열림, °C) | 200 (FKM (Viton) 보닛 씰) |
| 베이크 온도 (닫힘, °C) | 150 (FKM (Viton) 보닛 씰) |
| 표준 씰 (게이트) | FKM (Viton) 오링 |
| 표준 씰 (보닛) | FKM (Viton) 오링 또는 OFHC 구리 가스켓 |
| 압축 공기 접속 (mm) | Ø6 |
| 압축 공기 압력 (kg/cm²) | 4~6 (게이지압) |
| 옵션 | 위치 표시, 공압 제어 솔레노이드 밸브, 러핑 포트, 게이트 오링 재질 변경 |
| 표면 처리 | 스카치 연마 |