HTC HV Fast-Closing Gate Valve GVD-SS-P (Pneumatic, ISO/KF)
모델명: GVD-SS-P
고진공(HV) 장비의 챔버 격리에 쓰는 공압 구동 고속 폐쇄 게이트밸브입니다. 쐐기형 게이트를 쓰고 ISO 63·80·100·160과 KF 50 규격이 있으며, 잠금 장치(LOTO)가 붙은 형도 고를 수 있습니다.
| 본체·게이트 재질 | SS304 |
| 구동 방식 | 공압 (잠금 장치 LOTO형 선택) |
| 압력 범위 (mbar) | 1×10⁻⁸ ~ 1200 |
| 최대 차압 (bar) | 1.2 |
| 열림 시 최대 차압 (bar) | ≤ 1.0 |
| 헬륨 누설률 (샤프트, mbar·l/s) | < 1×10⁻⁹ |
| 헬륨 누설률 (보닛, mbar·l/s) | < 1×10⁻⁹ |
| 헬륨 누설률 (게이트, mbar·l/s) | < 1×10⁻⁷ |
| 사이클 수명 (게이트, 첫 정비까지) | 5,000 |
| 사이클 수명 (샤프트 관통부) | 100,000 |
| 베이크 온도 (본체, °C) | ≤ 180 |
| 베이크 온도 (액추에이터, °C) | ≤ 80 |
| 압축 공기 압력 (kg/cm²) | 4~7 |
| 압축 공기 접속 (mm) | Ø6 |
| 닫힘 시간 (KF50, ISO63) | ≤ 0.35 sec |
| 닫힘 시간 (ISO80, ISO100) | ≤ 0.5 sec |
| 닫힘 시간 (ISO160) | ≤ 1 sec |
| 열림 시간 (KF50, ISO63, ISO80, ISO100) | ≤ 1.0 sec |
| 열림 시간 (ISO160) | ≤ 1.5 sec |
| 표준 씰 (샤프트, 보닛, 게이트) | FKM (Viton) 오링 |
| 옵션 | 위치 표시(리드 센서 2선식 24VDC), 솔레노이드 밸브(5/2way 싱글 24VDC) |
| 표면 처리 | 스카치 연마 |
| 설치 방향 | 제한 없음 |