HTC CF150 All-Metal Gate Valve GVC-NS-CF-P (Pneumatic)
모델명: GVC-NS-CF-P
초고진공(UHV) 장비에 쓰는 공압 구동 올메탈 게이트밸브입니다. 316L 스테인리스 본체와 인코넬 게이트, OFHC 구리 가스켓 씰을 쓰며 본체를 240 °C까지 베이킹할 수 있습니다.
| 구동 방식 | 공압 |
| 사이즈 | CF150 / Ø150 |
| 본체·보닛 재질 | SS316L |
| 플랜지 재질 | 316LN-ESR 스테인리스강 |
| 캐리지 재질 | SS316L |
| 게이트 재질 | 인코넬 |
| 벨로우즈 재질 | SS316L |
| 보닛 씰 | OFHC 구리 가스켓 |
| CF 플랜지 씰 | OFHC 구리 가스켓 |
| 누설률 (mbar·l/s) | < 1×10⁻¹⁰ |
| 압력 범위 | UHV ~ 1.2 bar (절대압) |
| 게이트 차압 (bar) | ≤ 1.2 |
| 열림 시 차압 (mbar) | ≤ 100 |
| 첫 정비까지 사이클 수 | 6,000 |
| 온도 (본체, °C) | ≤ 240 |
| 온도 (액추에이터, °C) | ≤ 140 (최대 100시간) |
| 가열·냉각 속도 (°C/h) | ≤ 50 |
| 압축 공기 (bar) | 5~7 |
| 구동 시간 (열림, 닫힘) | 각 ≤ 12 sec |
| 설치 방향 | 제한 없음 |
| 무게 (kg) | 약 45 |