HTC APC Vacuum Butterfly Valve BFVC-EtherCat (EtherCAT)
모델명: BFVC-EtherCat
EtherCAT 통신으로 제어하는 APC(자동 압력 제어) 진공 버터플라이 밸브입니다. 스텝 모터로 구동하며 KF, ISO, CF 접속과 12비트·24비트 센서 입력 모델이 있습니다.
| 구동 방식 | 스텝 모터 |
| 통신 방식 | EtherCAT (RJ45 표준, CAT5·CAT6 케이블) |
| 본체·플레이트·샤프트 재질 | SS304 |
| 게이트 씰·샤프트 씰 | FKM (Viton) |
| 압력 범위 | 1×10⁻⁸ mbar ~ 1.2 bar |
| 헬륨 누설률 (1 atm 차압, mbar·l/s) | < 1×10⁻⁹ |
| 사용 온도 (본체, °C) | 10 ~ 110 |
| 사이클 수명 (개폐) | 250,000 |
| 사이클 수명 (압력 제어) | 2,000,000 |
| 입력 전압 | +24 VDC (±10%) |
| 소비 전력 (W) | 최대 100 |
| 센서 입력 | 독립 2채널, 0~10 V DC |
| 센서 입력 분해능 | 12비트 2.3 mV / 24비트 0.5 mV |
| 제어 정확도 | 센서 최대 범위의 0.1% |
| 닫힘·열림 시간 (KF25·40·50, CF35·63·100, ISO63·80·100) | < 0.85 sec |
| 닫힘·열림 시간 (ISO160, CF150) | < 3.5 sec |
| 최대 토크 (KF25·40·50, CF35·63·100, ISO63·80·100, kg-cm) | 50 |
| 최대 토크 (ISO160, CF150, kg-cm) | 90 |
| 설치 방향 | 제한 없음 |