HTC APC 펜듈럼 밸브 (스텝모터)

HTC APC Pendulum Valve (Step Motor)

HTC APC 펜듈럼 밸브는 공정 챔버와 터보분자펌프 사이에 설치해 챔버 압력 제어와 차단을 함께 맡는 진공 밸브입니다. 스텝모터와 일체형 컨트롤러로 압력 제어 모드와 위치 제어 모드로 운전하며 접속 규격은 ISO200·250·320 플랜지입니다. 반도체, 디스플레이(FPD), 태양전지 제조 장비의 CVD·식각 공정 배기 라인에 쓰입니다.

특징

HTC APC 펜듈럼 밸브 (스텝모터)HTC APC 펜듈럼 밸브 (스텝모터) 2HTC APC 펜듈럼 밸브 (스텝모터) 3

사양

몸체 재질A6061-T6
게이트 재질A6061-T6
접속ISO200/ISO250/ISO320 플랜지
구동 방식스텝모터
제어 모드압력 제어, 위치 제어
통신RS232 (RS485 옵션)
아날로그 입출력센서 입력 0~10 V 2채널, 아날로그 출력 0~10 V 2채널
전원24 VDC(±10%), 소비 전력 150 W
제어 정확도센서 최대 범위의 0.1%
위치 분해능8,000스텝
헬륨 누설률(차압 1 atm)알루미늄 몸체 < 1×10⁻⁹ mbar·L/s, 하드 아노다이징 몸체 < 1×10⁻⁵ mbar·L/s
사용 압력알루미늄 몸체 1×10⁻⁸ mbar ~ 1.2 bar, 하드 아노다이징 몸체 1×10⁻⁶ mbar ~ 1.2 bar
최대 차압1.2 bar (열 때 5 mbar 이하)
사용 온도(베이크)몸체 ≤120℃, 액추에이터 ≤70℃
수명개폐 200,000회, 압력 제어 1,000,000회
시트 재질Viton O-ring (게이트/본넷)
무게ISO200 22 kg, ISO250 31 kg, ISO320 51 kg
설치 방향수평, 수직
옵션게이트 O-ring 재질 변경, 히터(하드 아노다이징형, 단열 포함)

자주 묻는 질문

압력계와 컨트롤러는 따로 준비해야 하나요?
컨트롤러는 밸브에 붙어 나오므로 따로 준비하지 않고, 압력계만 센서 포트 사양에 맞는 제품을 연결합니다. 출력이 0~10 V 선형이고 24 VDC 또는 ±15 VDC(500 mA)의 센서 전원으로 구동되는 압력계는 연결할 수 있습니다.
알루미늄 몸체와 하드 아노다이징 몸체는 사양이 어떻게 다른가요?
알루미늄 몸체는 헬륨 누설률이 1×10⁻⁹ mbar·L/s 미만이고 사용 압력은 1×10⁻⁸ mbar~1.2 bar입니다. 하드 아노다이징 몸체는 헬륨 누설률이 1×10⁻⁵ mbar·L/s 미만이고 사용 압력은 1×10⁻⁶ mbar~1.2 bar입니다. 누설률은 둘 다 차압 1 atm 기준의 제조사 카탈로그 값입니다.
어떤 통신 방식을 지원하나요?
인터페이스 단자는 RS232가 기본이고 RS485는 옵션입니다. 같은 단자에 0~10 V 아날로그 출력 2채널과 디지털 입출력 각 2채널이 있습니다.
전원이 끊기면 어떻게 되나요?
컨트롤러에 백업 전원이 있고 정전 보호 동작은 소프트웨어에서 설정합니다.
기존 장비에 맞는지 어떻게 확인하나요?
포트 직경, 플랜지 외경, 볼트 P.C.D.는 치수표와 먼저 대조해 볼 수 있습니다. 밸브 길이, 컨트롤러 위치, 장비 쪽 제어 프로그램과의 통신은 도면과 사양을 받아 확인합니다. 같은 구경이어도 도면을 보기 전에는 맞는지 단정할 수 없습니다.