HTC Bakeable All-Metal Valve
몸체 전체를 스테인리스강으로 만들고 벨로우즈로 스템을 밀봉한 베이커블 올메탈 밸브입니다. 열린 상태에서 400 ℃, 닫힌 상태에서 300 ℃까지 베이킹할 수 있어 초고진공 장비에 맞습니다. 앵글형과 직통형이 있고 CF 플랜지로 이어집니다.
| 형식 | 앵글형 (AVBAK-CR16-M, CR35-M, CR63-M), 직통형 (STVBAK-CR16-M, CR35-M, CR63-M) |
| 베이킹 온도 | 열림 400 ℃, 닫힘 300 ℃ |
| 압력 범위 | 1×10⁻¹⁰ ~ 1000 mbar |
| 누설률 | 5×10⁻¹⁰ mbar·l/s |
| 재질 | 전체 스테인리스강, 벨로우즈 스템 실 |
| 닫힘 토크 | CR16 처음 150 / 최대 250 kg·cm, CR35 처음 300 / 최대 600 kg·cm, CR63 처음 300 / 최대 900 kg·cm |
| 개스킷 수명 | CR16·CR35 300회, CR63 수직 설치 300회 / 수평 설치 100회 |
| 설치 방향 | 제한 없음 |