HTC Gate Valve (CF/KF/ISO Flange)
고진공(HV)과 초고진공(UHV) 장비에 쓰는 진공 게이트밸브입니다. 수동이나 공압으로 구동하며 크라이오 펌프, 터보 분자 펌프 앞이나 깨끗한 공정에 맞습니다. KF, ISO, CF, ANSI, JIS 플랜지로 만들 수 있고 러핑 포트와 게이지 포트를 몸체에 덧붙일 수 있습니다.
| 구동 방식 | 수동, 공압, 볼 그루브 기구(수동·공압), 3-Position B형·L형 |
| 접속 방식 | KF, DIN, CF, ISO, ANSI, VF, VG 플랜지 |
| 사이즈 | 1" (25) ~ 26" (630) |
| 게이트 오링 재질 | FKM, NBR, 실리콘, FFKM, HFKM |
| 보닛 | 벨로우즈형 (SS), 오링 씰 또는 메탈 씰 |
| 솔레노이드 전압 | 110VAC, 220VAC, 24VDC, 12VDC, 24VAC (50Hz, 60Hz) |
| 옵션 | 리드 센서, 리밋 스위치, 러핑 포트 |